1. 軟件簡介
TSolidX基于實際半導體(tǐ)工藝和(hé)掩模版圖設計(jì)的3D建模軟件,借助易于使用的UI,可(kě)以提供三種類型的3D建模結構(實體(tǐ)模型,曲面三角網格,3D四面體(tǐ)網格)作(zuò)為(wèi)可(kě)在商業CAD,CAE,CAM軟件中使用的各種CAx格式數(shù)據。
1.1 應用領域
TSolidX能生(shēng)成多(duō)種3D模型:
OLED像素結構;
PCB襯底設計(jì);
散熱器(qì)結構;
生(shēng)物醫(yī)學傳感器(qì);
太陽能電(diàn)池;
1.2 主要功能
內(nèi)置布局編輯器(qì),并且可(kě)以通(tōng)過Skill語言界面直接從其他商業布局運行(xíng);
高(gāo)級mesh生(shēng)成技(jì)術(shù):用多(duō)樣的結構生(shēng)成功能創建真實的結構;
可(kě)以定義各種堆棧信息和(hé)過程條件(厚度,台階覆蓋率,平面度,錐度模型,非選擇性蝕刻,蝕刻阻擋層等),這些(xiē)各種高(gāo)級功能可(kě)以幫助生(shēng)成準确的3D網格結構;
提供了蝕刻工藝選項,包括非選擇性蝕刻,蝕刻停止劑,濕法蝕刻功能,半色調掩模進行(xíng)的部分蝕刻;
提供3種3D網格類型:錐形,錐形保形和(hé)曼哈頓;
附加布局程序,為(wèi)“ TSolid Viewer”,可(kě)以識别GDS文件以及2D掩膜闆設計(jì);
有(yǒu)多(duō)種類型的CAx格式文件可(kě)用于導出數(shù)據:對于實體(tǐ)模型,提供了step和(hé)IGES格式,對于3D三角形網格,提供了STL, Stanford triangle, Nastran, alias/wavefront/autocad dxf等,為(wèi)3D四方網格提供了Nastran,ansys,Gmsh,abaqus輸入格式,為(wèi)滿足客戶的需求,也可(kě)以添加特定的格式文件;
提供自适應和(hé)非結構化網格算(suàn)法,可(kě)以控制(zhì)邊緣,表面和(hé)體(tǐ)積條件;
通(tōng)過使用變量功能可(kě)以非常輕松快捷地生(shēng)成各種3D網格結構,可(kě)設置的變量參數(shù):厚度,水(shuǐ)平度(平面化),錐角和(hé)寬度,CD餘量,圓角倒圓和(hé)移位距離;
支持分布式和(hé)并行(xíng)計(jì)算(suàn)方法
1.3 應用舉例
下圖顯示了帶有(yǒu)體(tǐ)積網格的太陽能電(diàn)池的輸出文件,從正面,側面和(hé)俯視(shì)圖來(lái)看,該文件稱為(wèi)3D四方網格。
執行(xíng)變形分析
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