Core
增加了不鍍膜基底橢偏數(shù)據的光學常數(shù)提取,為(wèi)了能使用橢偏數(shù)據,從Macleod Tools菜單欄中選擇Substrate n, k & T并選擇 Ellipsometer按鈕。
現在可(kě)以在help下選擇user manual直接打開(kāi)Macleod英文手冊
反演工程現在支持基底雙邊鍍膜的情況。
反演工程現在可(kě)以在标題欄顯示優化器(qì)。對于Simplex, 會(huì)顯示“<S>” ;對于Differential Evolution會(huì)顯示 “<DE>”
如果基底的內(nèi)透過率數(shù)據不全是lossess, 反演工程現在需要基底的材料文件。
優化目标增加了平均值的計(jì)算(suàn),包含平均透射率、平均反射率、平均T+R、平均T\T+R、平均R\T+R、平均density、平均後向反射。
用戶自定義的功率分布添加到了cone計(jì)算(suàn)裏面,此分布可(kě)選定reference文件(作(zuò)為(wèi)角度的函數(shù))。
當有(yǒu)新數(shù)據導入到光學常數(shù)工具中,它會(huì)清理(lǐ)已經計(jì)算(suàn)的結果。
在注冊菜單中增加了email按鈕,授權表格可(kě)以非常容易的創建key請(qǐng)求。
Design中的薄層膜(非厚層膜)增加了Back Reflectance顔色分析功能。
Runsheet
“Monitor Type”現在包含在 NVision導出中, NVision 光學監控器(qì)可(kě)以預先選擇監控類型。
Function
雙加腳本編輯器(qì)的文件将會(huì)制(zhì)作(zuò)該腳本。
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