光學幹涉測量系統的物理(lǐ)光學仿真

LightTrans 講座
 

SPIE Photonics West 2019 大(dà)會(huì)
 

光學幹涉測量系統的物理(lǐ)光學仿真
 

SPIE OPTO – 第一場(chǎng)： 光子儀器(qì)的設計(jì)、改進及制(zhì)造
 

時(shí)間(jiān)：2019年2月5日│ 14:20 ─ 14:40
 

Site Zhang, Rui Shi, Christian Hellmann, and Frank Wyrowski
 

基于幹涉儀的現代光學測量技(jì)術(shù)在諸多(duō)領域發揮着重要的作(zuò)用，并往往包含多(duō)種類型元件。而改善系統性能或豐富系統功能的新方法，通(tōng)常會(huì)産生(shēng)系統分析和(hé)組裝的問題。為(wèi)解決這一問題，我們提出一種基于物理(lǐ)光學的仿真途徑。該方法從光源的電(diàn)磁表征出發，可(kě)以進行(xíng)相幹和(hé)偏振的模拟。我們演示了如何在選定的經典幹涉測量裝置中集成新組件（從顯微鏡物鏡到衍射、微納米結構），并測量所得(de)系統是否滿足功能需求。

 

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