GLAD：光刻成像系統的建模

概述

該系統由一個(gè)聚光鏡、一個(gè)傾斜球體(tǐ)和(hé)一個(gè)Schwartzchild設計(jì)的中繼鏡組成。光源被成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體(tǐ)掩模處會(huì)聚，在中繼透鏡的光瞳處形成點像。在中繼透鏡的瞳孔處，多(duō)條條紋圖案将形成一個(gè)中心波瓣和(hé)側波瓣。如下圖所示：

 

 掩模上(shàng)的條形圖案在中繼瞳孔中産生(shēng)旁瓣

 窄條産生(shēng)寬的旁瓣，僅部分通(tōng)過中繼入口瞳孔

 寬條産生(shēng)較窄的旁瓣，更容易通(tōng)過中繼入口瞳孔

 部分通(tōng)過旁瓣會(huì)産生(shēng)部分解析
 

系統描述
 

本例介紹了如何采用全局衍射分析對部分相幹進行(xíng)建模。如上(shàng)圖所示，整體(tǐ)裝置是一個(gè)科勒照明(míng)系統，其中有(yǒu)一個(gè)聚光元件能夠将非相幹光源的光進入轉像透鏡的孔徑中。在一個(gè)經典的科勒照明(míng)系統中，點光源通(tōng)過一個(gè)聚光鏡成像在轉像系統的光瞳中。光源照亮物體(tǐ)掩膜面，并在最後的成像面上(shàng)得(de)到适當的放大(dà)。為(wèi)了對光束合理(lǐ)采樣，光源放在物的共轭點處，這樣在光源面上(shàng)，點光源将是有(yǒu)一定維度的，而不是像理(lǐ)想點光源那(nà)樣，會(huì)引起混沌。對一個(gè)具有(yǒu)一定尺寸的光源，它所成的像就是部分相幹的。如果光源足夠大(dà)，大(dà)到可(kě)以填滿轉像透鏡的孔徑的話(huà)，所成的像将是非相幹的。

模拟結果
 

三栅條圖樣的部分相幹成像

   

兩組七栅條圖樣建模對比