左圖:角分辨光散射測量儀ALBATROSS;右圖:532 nm濾光片在不同波長下的ARS分布。
系統簡介
ALBATROSS(3D-Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter measurement )是一個(gè)大(dà)型的測量樣本反射光,透射光,以及散射光分布的實驗室測量系統。其特點是對角度的靈敏度高(gāo),并且該系統可(kě)以測量三維空(kōng)間(jiān)中的散射分布。被測樣本包含光學和(hé)非光學表面以及其他光學材料和(hé)光學元件。其光源系統為(wèi)變頻OPO激光,也可(kě)測量光散射的光譜特性。
特征及技(jì)術(shù)參數(shù)
- 可(kě)測量參數(shù):散射光(角分辨散射ARS,雙向反射分布BRDF,
- 雙向透射分布BTDF,散射損耗),θ-2θ測量,反射,透射。(3D)
- 入射光與探測器(qì)可(kě)共面或異面。
- 入射角,散射角(方位角和(hé)極角)以及光源的偏振态均可(kě)調整。
- 可(kě)對樣品進行(xíng)掃描。
- 動态範圍: 13個(gè)數(shù)量級。
- 最低(dī)ARS級别:5×〖10〗^(-8) 〖 sr〗^(-1)。
- 對粗糙度的最小(xiǎo)分辨率:< 0.1 nm 。
- 波長範圍:225 nm 至 1750 nm (光譜帶寬<0.05 nm)。
- 樣本規格:最大(dà)尺寸直徑700mm。
- 方便操作(zuò)的測量及分析軟件。
- 可(kě)分析值: 粗糙度,PSD等。
應用
對表面,薄膜以及材料性質進行(xíng)表征和(hé)分析
- 産品質量檢測。
- 光學性能分析。
- 粗糙度分析。
|