小(xiǎo)型光學粗糙度傳感器(qì)Horos

1.Horos—光學粗糙度傳感器(qì)。

2.測量樣本。

3.鑽石旋轉加工表面的測量結果。

4.Horos—光學材料粗糙度傳感器(qì)以及白光幹涉儀測量結果比較 （樣本：1.-Mo/Si-鏡子，2-Ti-膜，3-鑽石旋轉法下Al-表面）。

 

系統簡介
 

随着光學技(jì)術(shù)不斷地發展，對于光學材料或光學薄膜的表面性能測量的需求也日益增多(duō)。horos傳感器(qì)可(kě)直接測量表面粗糙程度。它具有(yǒu)非接觸式測量，快速測量的特點。并且它的體(tǐ)積小(xiǎo)便于移動。被測樣本的規格從機械零件到具有(yǒu)納米結構的光學表面均可(kě)。

 

特征及技(jì)術(shù)參數(shù)
 

- 可(kě)測量參數(shù)：粗糙度相關一系列值 （例如PSD，傾斜度等等），3D下散射光分布，檢測是否各項同性等。

- 靈敏度R_q<0.5 nm

- 測量時(shí)間(jiān)： < 1 s。

- 與輪廓儀直接相連——測量結果可(kě)直接比較。

 

 

傳感器(qì)：
 

Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一種小(xiǎo)型的，便于移動的光學傳感器(qì)。它以散射測量為(wèi)基礎，用于測量表面粗糙程度。測量範圍可(kě)從微米級到亞納米級。

 

應用：

可(kě)在下列領域中進行(xíng)快速，不受周圍環境幹擾的質量檢測：

- 平面或複雜（自由形狀）表面。

- 光學加工（表面加工，鍍膜，制(zhì)作(zuò)模具等）。

- 機械零件。

- 汽車(chē)工業。