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Essential Macleod應用:雙面鍍膜的模拟
時(shí)間(jiān):2023-06-26 20:05來(lái)源:訊技(jì)光電(diàn)作(zuò)者: 技(jì)術(shù)部點擊:打印
傳統意義上(shàng),Essential Macleod的設計(jì)是由一系列完全幹涉的薄膜組成,并隻在基闆的一側形成膜層。而Stack是由一組膜層和(hé)基闆組成,基闆的兩個(gè)面是平行(xíng)的,以便在相同材料中傳播角度相同。Stack中,膜層被介質(或基底)分開(kāi),介質(或基底)由其材料和(hé)厚度定義。入射介質和(hé)出射介質是半無限的,但(dàn)其它介質的厚度都是有(yǒu)限的。另一方面,膜層是繼續支持完全一緻性,即完全幹涉。這通(tōng)常是真實膜層和(hé)基底的情況,即考慮基闆後表面反射或者鍍膜的情況。
 
為(wèi)什麽介質或基闆不支持幹涉?這是一個(gè)系統問題。基闆的厚度通(tōng)常以毫米而不是納米來(lái)測量,因此路徑差異非常長。入射角、波長和(hé)厚度的微小(xiǎo)變化,雖然對路徑差異的比例效應很(hěn)小(xiǎo),但(dàn)對它們所代表的相位變化有(yǒu)很(hěn)大(dà)影(yǐng)響,因為(wèi)許多(duō)波長都涉及到這些(xiē)路徑差異。當各種光線組合在一起時(shí),幹涉條紋會(huì)被沖掉,隻留下總的輻照度。在單個(gè)設計(jì)文檔時(shí),我們總是假設使用完全準直的單色光,其中入射角和(hé)波長變化的相應影(yǐng)響通(tōng)常很(hěn)小(xiǎo),可(kě)以忽略不計(jì),從而在設計(jì)中存在完全相幹效應。
 
圖1.基闆足夠厚時(shí),無需考慮幹涉效應。如果考慮基闆的幹涉,要将基闆看成一層薄膜,而整個(gè)系統看作(zuò)一個(gè)膜系
 
另一個(gè)問題是,如果角度或波長的變化仍然較大(dà),即使設計(jì)中的層也顯示出減少(shǎo)的幹涉效應,那(nà)麽會(huì)發生(shēng)什麽,什麽叫做(zuò)部分相幹?此工具存在于Stack文檔中。計(jì)算(suàn)參數(shù)包括光中缺少(shǎo)準直性(以圓錐半角表示)和(hé)缺少(shǎo)單色性(以光譜帶寬表示)的影(yǐng)響。這些(xiē)在Design文檔中不可(kě)用(除非在Stack中設置,稍後将介紹)。
 
Stack中的第一列是标題為(wèi)Medium Type,這裏有(yǒu)兩種選擇:Parallel以及Wedge。透射或反射的光将由某種接收器(qì)收集,這種接收器(qì)在計(jì)算(suàn)中假定為(wèi)均勻靈敏度。此接收器(qì)可(kě)能無法收集在不同表面之間(jiān)來(lái)回反射後最終出現的所有(yǒu)光束。兩種極端情況是收集所有(yǒu)光束,以便沒有(yǒu)丢失,這種情況稱為(wèi)Parallel。 另一個(gè)極端是它隻收集從離它最近的表面反射一次的光束,這種情況被稱為(wèi)Wedged。假設所有(yǒu)其他反射光束走出系統,在傳輸中,那(nà)麽Wedge不收集反射光束。如果我們有(yǒu)成像系統,Wedge計(jì)算(suàn)代表形成的像,而Parallel計(jì)算(suàn)代表所有(yǒu)可(kě)能的光。因此,它們之間(jiān)的差異是雜散光。
 
 
圖2.原始設計(jì)文檔(上(shàng)部)通(tōng)過勾選Display Setup對話(huà)框中的Medium條目添加了Medium Type和(hé)Medium Thickness列。然後将3毫米厚平行(xíng)基闆與背面膜層一起添加,最後将出射介質設置為(wèi)空(kōng)氣。
 
一般來(lái)說,薄膜材料消光系數(shù)的準确度都比較低(dī),不能用于膜層較厚的情況。對于較厚的材料,更可(kě)靠的一個(gè)方法是給定厚度內(nèi)透射率,由于此參數(shù)比吸收系數(shù)橫容易獲得(de),因此我們使用此參數(shù)來(lái)定義Stack中介質的屬性。
 
要使用此附加功能,請(qǐng)打開(kāi)Design,然後在File菜單中選擇Display Setup。單擊Medium。設計(jì)文件的外觀如圖2所示,有(yǒu)兩個(gè)新的列,Medium Type和(hé)Medium Thickness,另外一種方法是在File菜單中選擇New-Stack。
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