Design Tool中,EdgeFilter的功能是可(kě)以用來(lái)幫助設計(jì)邊緣濾波器(qì)的結構。一個(gè)簡單的邊緣濾波器(qì)是基于四分之一堆棧的,在基闆和(hé)入射介質旁邊的幾個(gè)匹配層可(kě)以用來(lái)抑制(zhì)通(tōng)帶波紋。當傾斜時(shí),高(gāo)反射率區(qū)的寬度對S偏振光有(yǒu)增大(dà)的趨勢,對P偏振光有(yǒu)減小(xiǎo)的趨勢,導緻偏振分離。四分之一波長堆棧不容易得(de)到顯着改善,但(dàn)是Thelen 已經表明(míng)五層對稱周期是可(kě)以作(zuò)為(wèi)邊緣濾波器(qì)的基礎的,其中p和(hé)s偏振邊緣可(kě)以重合。嚴格來(lái)說,這隻是在一個(gè)入射角,但(dàn)經驗表明(míng),在一定角度範圍內(nèi)分裂非常小(xiǎo)。邊緣濾波器(qì)工具可(kě)以找到這樣一個(gè)對稱的周期,并設計(jì)一個(gè)非偏振邊緣濾波器(qì)。該工具使用叠代技(jì)術(shù)來(lái)識别所有(yǒu)可(kě)能的組合,并找到通(tōng)帶寬度和(hé)禁帶寬度的最佳組合,但(dàn)是後者受到一定限制(zhì)。
圖1顯示了參數(shù)對話(huà)框。設置了兩種材料的五層周期,入射角,入射介質和(hé)周期數(shù)。該工具沒有(yǒu)解決紋波問題,如圖2所示。在這裏,用SiO2當最外層最好。最後一步是鎖定所有(yǒu)層,然後對一些(xiē)最外層進行(xíng)優化以減少(shǎo)波紋。在這種特殊情況下,每側的12個(gè)層都經過了優化,以得(de)到圖3中的性能。
圖1.參數(shù)對話(huà)框,幾乎沒有(yǒu)必要更改搜索限制(zhì)或搜索間(jiān)隔
圖2.紋波消除前45°入射的原始結果
圖3.45°入射時(shí)最終的169層設計(jì)
該工具的另一個(gè)功能是将公式插入到了編輯菜單的Formula對話(huà)框中,這樣就不必返回到Edge Filter對話(huà)框來(lái)更改重複次數(shù)。
圖4.Formula對話(huà)框
|