衍射光栅（Diffractive Grating）設計(jì)與加工承接

衍射光栅是通(tōng)過周期性結構，對入射光的振幅或相位（或兩者同時(shí)）進行(xíng)周期性空(kōng)間(jiān)調制(zhì)。衍射光栅不僅用于光譜學，還(hái)廣泛用于計(jì)量、光通(tōng)訊、信息處理(lǐ)等領域。衍射光栅種類很(hěn)多(duō)，常用的有(yǒu)閃耀光栅、全息光栅、矩形光栅等。

AR增強現實眼鏡可(kě)以使用衍射光栅（又被稱為(wèi)浮雕光栅）來(lái)實現光波導。相比于幾何光波導，浮雕光栅波導可(kě)以将AR眼鏡做(zuò)得(de)更輕薄，更适合消費類電(diàn)子領域的應用。為(wèi)了使往眼睛方向衍射的光耦合效率達到最高(gāo)，AR鏡片的入射光栅最好使用斜齒 (slanted grating)或者三角形的閃耀光栅(blazed grating)，但(dàn)這兩種光栅的設計(jì)和(hé)加工難度都很(hěn)高(gāo)。
 

基于VirtualLab Fusion內(nèi)置的傅裏葉模态法（Fourier Modal Method，FMM/RCWA）以及參數(shù)掃描（New Parameter Run）和(hé)參數(shù)優化（New Parametric Optimization）功能，能夠針對不同的視(shì)場(chǎng)角，快速的完成傾斜光栅以及閃耀光栅等的設計(jì)并對所需的級次進行(xíng)優化，以獲得(de)最大(dà)的耦合效率，最後導出GDSII結構以進行(xíng)微納加工。
 

目前，我們除了可(kě)以提供各種常用的衍射光栅标準産品之外，還(hái)可(kě)以提供客戶化的定制(zhì)加工服務。特别是可(kě)以實現納米級的斜齒光栅和(hé)三角形的閃耀光栅的加工。
 

    

左圖：基于VirtualLab Fusion設計(jì)的傾斜光栅折射率分布；右圖：加工所得(de)的傾斜光栅