蛾眼減反結構設計(jì)與加工承接

蛾眼結構可(kě)以減少(shǎo)反射率，原因在于：當材料表面納米結構尺度小(xiǎo)于光波長時(shí)，光波無法辨認出該納米結構，而圓錐型的蛾眼結構可(kě)以使材料表面的折射率沿深度方向呈連續變化，從而減小(xiǎo)折射率急劇(jù)變化所造成的反射。

對于抗反射蛾眼2D周期性亞波長結構，需要對其進行(xíng)嚴格的矢量計(jì)算(suàn)和(hé)分析，通(tōng)過使用VirtualLab Fusion提供的傅裏葉模态法（Fourier Modal Method，FMM）以及參數(shù)運行(xíng)（New Parameter Run）和(hé)參數(shù)優化（New Parameter Optimization）功能，可(kě)以實現不同角度以及不同波長條件下低(dī)反射率的蛾眼結構的設計(jì)。

目前，我們采用納米壓印技(jì)術(shù)，可(kě)以在玻璃或塑料膜表面制(zhì)作(zuò)大(dà)面積的蛾眼結構，實現減反效果。在可(kě)見光範圍內(nèi)可(kě)以将材料表面的反射率降低(dī)到小(xiǎo)于0.2%。在紅外波段，結合納米壓印和(hé)等離子刻蝕工藝，可(kě)以在矽表面加工蛾眼結構來(lái)減少(shǎo)其對紅外光的反射。