超透鏡（Metalens）結構設計(jì)與加工承接

超透鏡是一種通(tōng)過将具有(yǒu)特殊電(diàn)磁特性的光學天線，按照一定方式進行(xíng)排列的二維平面透鏡結構，可(kě)實現對入射光振幅、相位、偏振等參量的靈活調控，可(kě)以用在超分辨顯微成像、全息光學、消色差透鏡等方面。超透鏡可(kě)以将包括白光在內(nèi)的整個(gè)可(kě)見光譜，聚焦在同一點上(shàng)且具有(yǒu)很(hěn)高(gāo)的分辨率。

一方面，通(tōng)過導入ZEMAX的Binary 2 Surface，VirtualLab Fusion可(kě)以對功能性的MetaLens進行(xíng)建模和(hé)仿真，以研究其相位調制(zhì)效果；另一方面，VirtualLab Fusion也可(kě)以通(tōng)過傅裏葉模态法（Fourier Modal Method，FMM）以及參數(shù)運行(xíng)（New Parameter Run）和(hé)參數(shù)優化（New Parameter Optimization）功能，實現MetaGrating的設計(jì)和(hé)優化，以獲得(de)偏振無關和(hé)高(gāo)效率的光栅結構。
 

對于MetaLens以及MetaGrating，我們采用了納米壓印技(jì)術(shù)，結合沉積、刻蝕等半導體(tǐ)工藝技(jì)術(shù)，可(kě)以實現低(dī)成本大(dà)面積的超透鏡結構加工。