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時(shí)間(jiān):2024-01-22 17:13來(lái)源:訊技(jì)光電(diàn)作(zuò)者: 技(jì)術(shù)部點擊:打印
光栅是許多(duō)光學工程師(shī)的基本工具,因為(wèi)它們的物理(lǐ)特性(将入射光衍射成一組離散的級次)使它們在許多(duō)不同的配置和(hé)許多(duō)不同的應用中都是非常有(yǒu)吸引力的工具。然而,研究主要的興趣是給定光栅設置如何能夠容許例如制(zhì)造過程産生(shēng)的與設計(jì)參數(shù)的小(xiǎo)偏差。請(qǐng)查看下面的文檔,找到我們根據其填充因子優化傾斜光栅的示例。我們使用新發布的Parameter Variation Analyzer來(lái)執行(xíng)設置的容差分析,并計(jì)算(suàn)一個(gè)評價函數(shù),該函數(shù)計(jì)算(suàn)了不同填充因子下工作(zuò)級次的平均效率。
 
但(dàn)是光栅本身的參數(shù)并不是影(yǐng)響這類系統性能的唯一因素:已知大(dà)多(duō)數(shù)具有(yǒu)小(xiǎo)特征尺寸的周期結構對入射光的偏振狀态非常敏感。作(zuò)為(wèi)本周的第二個(gè)用例,我們選擇了一個(gè)場(chǎng)景,在這個(gè)場(chǎng)景中,我們分析了二元光栅的偏振依賴性,并對結構進行(xíng)了優化,使其在任意偏振角入射光下均能表現良好。
 
傾斜光栅的魯棒性優化
 
 
這個(gè)用例演示了一個(gè)具有(yǒu)稍微變化的填充因子的傾斜光栅的魯棒性優化。
 
高(gāo)效偏振無關傳輸光栅的分析與設計(jì)
 
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