共聚焦掃描顯微鏡的工作(zuò)原理(lǐ)

摘要
 

共聚焦掃描顯微鏡在 1950 年代由 M. L. Minsky 發明(míng)并獲得(de)專利，後來(lái)又以采用激光作(zuò)為(wèi)光源的新穎性獲得(de)了廣泛的應用。 通(tōng)過使用空(kōng)間(jiān)針孔來(lái)阻擋從焦平面外散射或反射的光，有(yǒu)助于提高(gāo)縱向分辨率和(hé)對比度。 在本例中，我們在VirtualLab Fusion 中構建了一個(gè)共聚焦掃描顯微鏡，并使用具有(yǒu)交替脊和(hé)凹槽的金屬光栅作(zuò)為(wèi)測試對象來(lái)演示其工作(zuò)原理(lǐ)。
 

建模任務 

共聚焦掃描顯微鏡是如何工作(zuò)的，它如何檢測物體(tǐ)橫向位移導緻的功率變化？

 

焦點區(qū)域的探測場(chǎng)
 

 

測試對象的直接反射
 

 

測試對象的直接反射
 

 

測試對象的像
 

 

測試對象的像
 

 

功率測量與測試對象的橫向偏移