VirtualLab：光栅的優化與分析

光栅是光學工程師(shī)使用的最基本的工具。為(wèi)了設計(jì)和(hé)分析這類組件，快速物理(lǐ)光學建模和(hé)設計(jì)軟件VirtualLab Fusion為(wèi)用戶提供了許多(duō)有(yǒu)用的工具。其中包括參數(shù)優化，以輕松優化系統，以及參數(shù)運行(xíng)，它允許您執行(xíng)參數(shù)掃描，以研究這些(xiē)參數(shù)對設置的總體(tǐ)效果的影(yǐng)響。此外，還(hái)可(kě)以用于詳細研究具體(tǐ)制(zhì)造過程中的偏差引入的影(yǐng)響。不同的求解器(qì)也可(kě)以供您使用來(lái)模拟場(chǎng)與光栅的相互作(zuò)用，具有(yǒu)不同的假設和(hé)相應的近似水(shuǐ)平。這些(xiē)方法的範圍從嚴格的傅裏葉模态法（FMM）到适用于具有(yǒu)淺浮雕大(dà)型結構的薄元近似法（TEA）。
 

薄元素近似法（TEA）對比傅裏葉模态法（FMM）進行(xíng)光栅建模
 

 

研究了兩種常用但(dàn)原理(lǐ)不同的分析光栅衍射效率的算(suàn)法： TEA和(hé)FMM（也稱為(wèi)RCWA）。比較了不同周期的兩種類型的光栅（正弦和(hé)閃耀）結果。
 

傾斜光栅的參數(shù)優化及公差分析
 

 

以傅裏葉模态法（FMM）作(zuò)為(wèi)參數(shù)優化的核心，設計(jì)了一個(gè)傾斜光栅來(lái)實現高(gāo)衍射效率将光耦合到光波導中的目的。此外，還(hái)分析了包括圓角邊緣在內(nèi)的制(zhì)造公差。