這是一個(gè)一維孤立線光栅的簡單案例。設置與周期線光栅的案例相同，但(dàn)代替周期性排列的線，現在使用單線。因此，二維計(jì)算(suàn)域不再采用水(shuǐ)平方向上(shàng)的周期性邊界條件，而是采用水(shuǐ)平和(hé)垂直方向上(shàng)的透明(míng)邊界。
光栅被斜入射S和(hé)P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算(suàn)近場(chǎng)分布。下圖顯示了當波長為(wèi)193nm時(shí)，平面波從襯底側垂直入射到結構內(nèi)的近場(chǎng)強度
S偏振光照明(míng)的近場(chǎng)強度
P偏振光照明(míng)的近場(chǎng)強度
後處理(lǐ)傅裏葉變換計(jì)算(suàn)散射場(chǎng)在上(shàng)半空(kōng)間(jiān)的傅裏葉變換。
在實驗中，遠場(chǎng)通(tōng)常由成像的光學裝置來(lái)收集。後處理(lǐ)光學成像允許描述一個(gè)通(tōng)用光學成像系統。我們通(tōng)過一個(gè)沒有(yǒu)像差的簡單2X放大(dà)工具來(lái)演示這一點。
PostProcess {
OpticalImaging {
InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm"
OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm"
OpticalSystem {
SpotMagnification = 2.0
}
}
輸出文件fourier_transform_image.jcm包含經過光學系統後的場(chǎng)的傅裏葉變換。可(kě)以使用笛卡爾輸出後處理(lǐ)來(lái)計(jì)算(suàn)相幹圖像。下圖顯示了不同z方向切片的圖像(圖像平面沿z方向放置)，用于S偏振照明(míng)。
線光栅通(tōng)過光學系統後的相幹圖像(s偏振入射平面波)
線光栅通(tōng)過光學系統後的相幹圖像(p偏振入射平面波)
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