JCMsuite應用：一維周期線栅

這是一維周期線栅的簡單案例。周期單元包含通(tōng)過光栅的二維截面。在這種情況下，線栅的橫截面呈梯形，它位于襯底上(shàng)，被背景材料包圍。示例中的材料選擇為(wèi)鉻(線栅)、玻璃(基底)和(hé)空(kōng)氣(背景材料)。

光栅被S和(hé)P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算(suàn)近場(chǎng)分布。下圖顯示了當波長為(wèi)193nm時(shí)，平面波從襯底側垂直入射到結構內(nèi)的近場(chǎng)強度。

S偏振光照明(míng)的近場(chǎng)強度

P偏振光照明(míng)的近場(chǎng)強度
 

後處理(lǐ)傅裏葉變換計(jì)算(suàn)透射衍射級次的振幅。
 

參數(shù)掃描
 

Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它産生(shēng)了以下圖表，顯示了反射和(hé)透射衍射級次的強度：

 

在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定時(shí)，線栅的寬度從150nm增至250nm。這将産生(shēng)以下線栅寬度依賴關系：