摘要
F-Theta透鏡通(tōng)常用于基于掃描式的激光材料加工系統。使用這種透鏡，聚焦光斑沿目标平面的位移與透鏡焦距和(hé)掃描角度的乘積成正比。然而，不存在完美的F-Theta系統，因此在任何給定的系統中，偏離理(lǐ)想行(xíng)為(wèi)的偏差都是可(kě)以預期的。借助快速物理(lǐ)光學建模和(hé)設計(jì)軟件VirtualLab Fusion中的掃描源，通(tōng)過測量不同角度下實際光斑位置與期望值之間(jiān)的偏差，分析了給定F-Theta透鏡的性能。
建模任務
系統構建塊-掃描源
How to Set Up a Scanning Source
系統構建塊-透鏡系統組件
系統構建塊-參數(shù)耦合
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion
系統構建塊-失真分析儀
實際焦點位置與參考焦點位置之間(jiān)的偏差表明(míng)了F-Theta透鏡的性能。這些(xiē)信息可(kě)以使用Distortion Analyzer計(jì)算(suàn)。
雖然實際焦點點位置将由模拟計(jì)算(suàn)，但(dàn)參考焦點點位置可(kě)以指定為(wèi)角度本身或其切線上(shàng)的線性。
通(tōng)用探測器(qì)和(hé)探測器(qì)附加組件
Universal Detector允許用戶評估探測器(qì)接收到的光場(chǎng)，并通(tōng)過使用所謂的附加組件計(jì)算(suàn)各種物理(lǐ)量。附加組件可(kě)以相互提供信息(即，它們可(kě)以嵌套);在我們的例子中，我們使用場(chǎng)數(shù)據來(lái)計(jì)算(suàn)輻射能密度，然後使用該數(shù)據上(shàng)的另一個(gè)附加項來(lái)獲得(de)場(chǎng)大(dà)小(xiǎo)(FWHM)。更多(duō)資料見:
Universal Detector
總結-組件…
系統觀感
通(tōng)過系統:三維可(kě)視(shì)化，不同FoV模式可(kě)以通(tōng)過顔色編碼來(lái)區(qū)分。此外，可(kě)以檢查場(chǎng)的軌迹，以便将探測器(qì)放置在正确的位置。
性能評估-點位偏差
性能評估-光斑直徑測量
文件信息
進一步閱讀
• Performance Analysis of Laser Scanning System
• How to Set Up a Scanning Source
• Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion
• 3D Visualization of the Optical System
• Universal Detector
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