基于幹涉的光學測試系統

​為(wèi)了對結構表面進行(xíng)高(gāo)精度檢查（通(tōng)常用于半導體(tǐ)行(xíng)業），可(kě)以使用基于幹涉效應的光學測試系統。對這些(xiē)設置的完整模拟需要包括所有(yǒu)物理(lǐ)光學效應，如結構處的衍射、相幹性以及在圖像平面上(shàng)産生(shēng)的幹涉。為(wèi)了幫助光學工程師(shī)完成這項任務，快速物理(lǐ)光學軟件VirtualLab Fusion提供了一系列工具，包括系統中的衍射和(hé)非序列建模。

 

随着新版本2023.1的發布，我們還(hái)提供了一種新的探測器(qì)概念，允許用戶直接根據場(chǎng)信息計(jì)算(suàn)可(kě)能感興趣的任何物理(lǐ)量。為(wèi)了了解所有(yǒu)這些(xiē)工具的是如何工作(zuò)的，我們展示了以下兩個(gè)示例。在第一個(gè)例子中，使用高(gāo)NA物鏡檢查非對稱微結構晶片，而在第二個(gè)例子中我們使用不同形狀的測試表面顯示了來(lái)自經典斐索幹涉儀的輻照度圖案。

 

用于微結構晶片檢測的光學系統

 

 

該用例顯示了高(gāo)NA晶片檢測系統的快速物理(lǐ)光學模拟，該系統通(tōng)常用于半導體(tǐ)工業中檢測晶片上(shàng)的缺陷。
 

光學檢測用的斐索幹涉儀
 

借助非連續場(chǎng)追迹技(jì)術(shù)建立了斐索幹涉儀，并顯示了來(lái)自幾個(gè)不同測試表面的幹涉條紋。