用于光學檢測的斐索幹涉儀

摘要

  

斐索幹涉儀是工業上(shàng)常見的光學計(jì)量設備，通(tōng)常用于高(gāo)精度測試光學表面的質量。在VirtualLab Fusion中通(tōng)道(dào)配置的幫助下，我們建立了一個(gè)Fizeau幹涉儀，并将其用于測試不同的光學表面，例如圓柱形和(hé)球形表面。結果表明(míng)，表面輪廓對幹涉條紋的産生(shēng)是敏感的。

 

建模任務 

 

 

測試表面

 

非序列追迹

 

通(tōng)用探測器(qì)和(hé)探測器(qì)附加組件

 

 

總結-組件…

 

觀測下的傾斜平面

 

被觀測圓柱面

 

 

被觀測球面