用于幹涉儀應用的實際分束器(qì)

幹涉儀是在光學計(jì)量領域的許多(duō)應用的關鍵技(jì)術(shù)。廣泛應用于表面輪廓、缺陷、機械形變或熱形變等高(gāo)精度測量。大(dà)多(duō)數(shù)幹涉儀系統強烈依賴分束器(qì)來(lái)分離入射光束。要詳細研究這些(xiē)組件可(kě)能對光産生(shēng)的所有(yǒu)不同物理(lǐ)影(yǐng)響，就需要一種可(kě)以模拟真實光束分束器(qì)組件的建模方法。

 

考慮到這一點，我們分享了兩個(gè)用例，其中包含了這種分束器(qì)的最常見設計(jì)。在第一篇文章中，我們看了一個(gè)基于受抑全內(nèi)反射(FTIR)的立方體(tǐ)分束器(qì)，并演示了間(jiān)隙如何影(yǐng)響透射和(hé)反射效率。在第二個(gè)用例中，我們研究了由實際分束器(qì)與理(lǐ)想分束器(qì)所産生(shēng)的相移。

 

立方體(tǐ)光束整形器(qì)上(shàng)的受抑全內(nèi)反射（FTIR） 
 

 

本用例演示了一個(gè)基于受抑全內(nèi)反射(FTIR)的實際分束器(qì)，并研究了間(jiān)隙厚度對反射和(hé)透射效率的影(yǐng)響。

 

Mach-Zehnder幹涉儀中的互補幹涉圖

 

 

在VirtualLab Fusion中建立了具有(yǒu)相幹激光光源的Mach-Zehnder幹涉儀，并采用非序列場(chǎng)追迹技(jì)術(shù)對幹涉儀進行(xíng)了分析。研究了理(lǐ)想分束器(qì)和(hé)棱鏡分束器(qì)的不同行(xíng)為(wèi)，并演示了相對相移引起的互補幹涉圖樣。