摘要
近幾十年來(lái)，CMOS傳感器(qì)的像素尺寸已經從~10µm縮小(xiǎo)到~2µm，甚至更小(xiǎo)。通(tōng)過減小(xiǎo)像素尺寸，可(kě)以獲得(de)更高(gāo)的空(kōng)間(jiān)分辨率。同時(shí)，這也給每個(gè)像素上(shàng)微透鏡的功能帶來(lái)了問題。在本例中，我們研究了像素尺寸等于或低(dī)于2µm的CMOS傳感器(qì)的性能。采用嚴格的FMM/RCWA進行(xíng)仿真，以驗證微透鏡的有(yǒu)效性。
建模任務
模拟&設置：單平台互操作(zuò)性
建模技(jì)術(shù)的單平台互操作(zuò)性
在模拟中達到正确的精度-速度平衡需要對系統的每個(gè)部分使用不同的建模技(jì)術(shù)，這樣可(kě)以在不過度計(jì)算(suàn)的情況下考慮相關影(yǐng)響。
平面波光源
微透鏡陣列
彩色濾光片(吸收介質)
通(tōng)過基底傳播
探測
連接建模技(jì)術(shù)：微透鏡
連接建模技(jì)術(shù)：彩色濾光片
連接建模技(jì)術(shù)：可(kě)編程介質
連接建模技(jì)術(shù)：自由空(kōng)間(jiān)傳播
連接建模技(jì)術(shù)：堆棧
在VirtualLab Fusion中，堆棧是配置具有(yǒu)小(xiǎo)特征尺寸和(hé)距離結構的一種便捷的方法。在這些(xiē)容器(qì)中，可(kě)以包含多(duō)種類型的表面和(hé)介質來(lái)表示結構的各個(gè)方面。請(qǐng)注意，整個(gè)堆棧使用了相同的建模技(jì)術(shù)。
微透鏡陣列
彩色濾光片(吸收介質)
通(tōng)過基底傳播
探測
元件內(nèi)場(chǎng)分析器(qì)：FMM
模拟結果
像素尺寸為(wèi)2.0µm的微透鏡(x-z平面模拟)
像素尺寸為(wèi)1.8µm的微透鏡(x-z平面模拟)
像素尺寸為(wèi)1.6µm的微透鏡(x-z平面模拟)
3D仿真與結果比較
3D仿真與結果比較
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