傾斜光栅的魯棒性優化

摘要                                                                            

 

 

由于制(zhì)造過程中潛在的不準确性，對于一個(gè)好的光栅設計(jì)來(lái)說，面對光栅參數(shù)的微小(xiǎo)變化，提供穩健的結果是至關重要的。VirtualLab Fusion為(wèi)光學工程師(shī)提供了各種工具，可(kě)以将這種行(xíng)為(wèi)直接納入優化過程，例如參數(shù)變化分析儀。該工具結合了同一系統的多(duō)次叠代，在優化過程中實現了評價函數(shù)的表示和(hé)自動計(jì)算(suàn)，如平均效率。在這個(gè)用例中，我們通(tōng)過稍微改變填充因子來(lái)優化傾斜光栅來(lái)演示這個(gè)特性。            

仿真任務                                                                            

  

 

連接建模技(jì)術(shù):傾斜光栅

                                                                     

 

可(kě)用的微結構建模技(jì)術(shù):

                                                                                

光栅階數(shù)分析儀



參數(shù)變化分析儀                                                                            

  

                                                                             

 

參數(shù)優化                                                                            

 

                   

 

優化結果-平均效率

                                                   

 

優化結果-對比度