JCMSuite應用--線型光栅

這是一個(gè)一維周期線光栅的簡單例子。周期單元包含了光栅的2D橫截面。在這種情況下，線型的橫截面具有(yǒu)梯形形狀，它位于襯底上(shàng)并被背景材料包圍。示例中的材質選擇為(wèi)鉻(線)、玻璃(襯底)和(hé)空(kōng)氣(背景)。

 

光栅由s偏振和(hé)p偏振的平面波照射。JCMSuite計(jì)算(suàn)近場(chǎng)分布。下圖顯示了從襯底一側以193 nm波長垂直入射的結構內(nèi)的近場(chǎng)強度。

S偏振照明(míng)的近場(chǎng)強度

 

P偏振照明(míng)的近場(chǎng)強度
 

傅立葉變換後處理(lǐ)計(jì)算(suàn)透射衍射級的振幅。
 

參數(shù)掃描
 

Matlab®腳本data_analysis/run_can_illlightation.m提供對入射角度的掃描。
 

它會(huì)生(shēng)成以下曲線圖，顯示反射和(hé)透射衍射級的強度：

 

在腳本data_analysis/run_can_width.m中，線條的寬度在150 nm到250 nm之間(jiān)變化，照明(míng)角度固定。