JCMsuite應用：閃耀光栅

這是一維周期線光栅案例的一個(gè)變形。它的靈感來(lái)自閃耀光栅。在一維線栅的案例中，周期單元晶胞包含通(tōng)過光栅的二維橫截面。這裏的橫截面包含兩個(gè)寬度、高(gāo)度和(hé)角度不同的三角形。這些(xiē)三角形線條位于襯底上(shàng)，被背景材料包圍。示例中的材料選擇為(wèi)鉻(線栅)、玻璃(基底)和(hé)空(kōng)氣(背景材料)。

 

光栅被S和(hé)P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算(suàn)近場(chǎng)分布。同時(shí)通(tōng)過後處理(lǐ)傅裏葉變換計(jì)算(suàn)透射衍射級次的振幅。下圖顯示了當波長為(wèi)193nm時(shí)，平面波從襯底側垂直入射到結構內(nèi)的近場(chǎng)強度。

 

S偏振光照明(míng)的近場(chǎng)強度

P偏振光照明(míng)的近場(chǎng)強度