方形晶胞

這是一個(gè)簡單的二維光栅的案例，它有(yǒu)兩個(gè)周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和(hé)y方向上(shàng)是周期性的。它包含一個(gè)位于襯底上(shàng)的菱形(平行(xíng)六面體(tǐ))，并被背景材料包圍。示例中的材料選擇為(wèi)鉻(菱形結構)、玻璃(基底)和(hé)空(kōng)氣(背景材料)。

 

光栅被S和(hé)P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算(suàn)近場(chǎng)分布。下圖顯示了當波長為(wèi)193nm時(shí)，平面波從襯底側垂直入射到結構內(nèi)的近場(chǎng)強度

S偏振光照明(míng)的場(chǎng)矢量

P偏振光照明(míng)的場(chǎng)矢量
 

後處理(lǐ)傅裏葉變換計(jì)算(suàn)透射衍射級次的振幅。
 

參數(shù)掃描
 

Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它産生(shēng)了以下圖表，顯示了反射和(hé)透射衍射級次的強度：

 

在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,在一個(gè)固定的照明(míng)角度下，其中圖案寬度從150nm增至250nm。這将産生(shēng)以下依賴關系