JCMSuite應用：光場(chǎng)通(tōng)過六方晶胞的近場(chǎng)分析

這是一個(gè)簡單的二維光栅的例子，具有(yǒu)雙重周期(六方)晶格。三維單元晶胞在x和(hé)y平面上(shàng)是周期性的。它包含兩個(gè)不同的菱形(平行(xíng)六面體(tǐ))，位于襯底上(shàng)，被背景材料包圍。我們選擇了一個(gè)直角線單元晶胞(最小(xiǎo)原始單元格)來(lái)避免結構的計(jì)算(suàn)域邊界的不利切割。案例中的材料選擇為(wèi)鉻(菱形)，玻璃(基底)和(hé)空(kōng)氣(背景材料)。

 

光栅被S和(hé)P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算(suàn)近場(chǎng)分布。下圖顯示了當波長為(wèi)193nm時(shí)，平面波從襯底側垂直入射到結構內(nèi)的近場(chǎng)強度

S偏振光照明(míng)的場(chǎng)矢量
 

 

P偏振光照明(míng)的場(chǎng)矢量
 

後處理(lǐ)傅裏葉變換計(jì)算(suàn)透射衍射級次的振幅。